Phenom ParticleX AM Desktop SEM 配备了一个电镜室,可分析最大 100 mm x 100 mm 的大样品。专有的排气/装载机制使其具有世界上最快速的排气/负载循环,能提供高 通量。
要特点
一般 SEM 使用
Phenom ParticleX AM Desktop SEM 具有一个带有准确快速电动样品台的电镜室,可分析最高 100 mm x 100 mm 样品。尽管样品尺寸更大 ,但专利的循环加载机制可使通气/加载循环保持到行业领先的 60 秒或更短的样品加载时间。实际上,这可改善 SEM 系统的通量因子。
增材制造
Phenom ParticleX AM Desktop SEM 可测量各种大小和形状参数,例如最小和最大直径、周长、长宽比、粗糙度和铁氧直径。所有这些结果均可以 10%、50%、90% 值(例如、 d10、d50、d90)显示。
元素绘图和谱线扫描
用户只需点击即可使用 Phenom ParticleX AM Desktop SEM 的元素绘图和线扫描功能。线扫描功能以线图显示量化的元素分布。这对于涂层、涂料以及其他多层应用特别有用,可用于分析边线、涂层、横截面等
性能数据
电子光学
长寿命的热电子源 (CeB6)
多射束电流
电子光学放大率范围
160 - 200,000x
光学放大率
3–16x
分辨率
<10 nm
图像分辨率选项
960 x 600、1920 x 1200、3840 x 2400 和 7680 x 4800 像素
加速电压
默认: 5 kV、10 kV 和 15 kV
高级模式:可在 4.8 kV 至 20.5 kV 成像与分析模式之间调节范围
真空水平
低 - 中 - 高
检测器
能量色散型 X 射线光谱 (EDS) 检测器(标配)
二级电子检测器(可选)
样本尺寸
最大 100 mm x 100 mm(最大 36 x 12 mm 针脚)
最大 40 mm (h)
样品加载时间
光学 <5 秒
电子光学 <60 秒
二级电子检测器
ParticleX AM Desktop SEM 可选提供二级电子检测器 (SED)。SED 从样品的顶部表层收集低能量电子。因此,非常适合揭示详细的样品表面信息。SED 很适合拓扑和形态很关键的应用。在研究微结构、纤维或颗粒时,这通常是如此。