先进的逻辑和存储器制造工艺越来越依赖于精确的结构和分析数据的快速周转，以便能够快速校准工具套件、诊断良率偏移并优化工艺得率。在 28 nm 以下的技术节点，特别是在实施 3D 和先进设备设计的情况下，传统的 SEM 或基于光学的分析和检查工具遇到挑战，无法提供稳健和可靠的数据。Thermo Scientific Metrios AX 透射电子显微镜 (TEM) 是首款致力于为半导体生产商提供快速精准表征和参考计量，从而满足其晶片制造过程开发和控制需求以加快盈利收益的 TEM。
准确且可重复的大量 TEM 数据
Metrios AX TEM 可自动进行基础 TEM 操作和测量程序，尽可能减少了对专业操作员培训的要求。其先进的自动化计量程序提供的精度显著高于手动方法。Metrios AX TEM 设计用于提供比其他 TEM 更高的通量和更低的每份样品的成本。
