产品详情

透射电镜 Spectra Ultra TEM

仪器名称 透射电镜 Spectra Ultra TEM
1 适用于大多数电子束敏感材料的新成像和光谱分析功能
2 利用 Ultra-X 进行 EDX 检测的飞跃
3 色谱柱旨在保持样品完整性
功能介绍

Spectra Ultra S/TEM

用于对电子束敏感材料进行成像和光谱分析的扫描透射电子显微镜。

要真正优化 S/TEM 成像,EDX 和 EELS 可能需要在不同加速电压下采集不同信号。规则可能因样品而异,但得到普遍接受的观点是:1) 最佳成像在可能的最高加速电压下完成,高于该电压将发生可见损害;2) EDX,特别是在映射时,会受益于更低电压和增加的电离横截面,从而为给定的总剂量产生更好的信噪比图;3) EELS 在高电压下工作效果最佳,可以避免多重散射,这种散射会在样品厚度增加时降低 EELS 信号。

遗憾的是

Spectra Ultra S/TEM 通过我们的 Ultra-X EDX 探头将 EDX 检测的下一个时代推向市场。Ultra-X 提供的立体角 (>4.45 Sr) 至少为任何其他 EDX 探头解决方案的两倍,其灵敏度在 STEM EDX 分析领域开启了新的能力。即使考虑到分析双倾台的遮挡,立体角也 >4.04 srad

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图 2.单个探头、Super-X、Dual-X 和新款 Ultra-X 的标准化计数率与倾斜角关系图。在 200 kV 下记录数据,每个探头配置均采用经过优化的标本台。Zaluzec 等人已提交给 Microscopy and Microanalysis,2021。

这种高灵敏度的优点体现在使用 Ultra-X 获得的光谱成像质量改善上。图中所示为使用相同的电子剂量 (8.28 x 108 e/Å2) 时,Super-X、Dual-X 和 Ultra-X 之间在分析 DyScO3 样品上的比较。可以很容易地发现原始数据中呈现的信噪比改善。此外,可使用 Ultra-X 直接对氧原子柱成像,Super-X 和 Dual-X 则无法实现。

A quantitative comparison is shown between Super-X, Dual-X, and Ultra-X on a DyScO3 specimen. The improvements in the signal-to-noise ratio are clearly seen. Specimen courtesy of L.F. Kourkoutis, Cornell University.
图 3.图中显示了 Super-X、Dual-X 和 Ultra-X 之间在分析 DyScO3 标本上的定量比较。可以清楚地看到信噪比的改善。标本承蒙康奈尔大学 L.F.Kourkoutis 提供。

此外,Ultra-X 的高灵敏度意味着获得相同程度的化学信息,只需其他 EDX 探头解决方案所需电子剂量的一小部分。这为对更多电子束敏感标本进行 STEM EDX 分析以及加快映射速度以获得更稳定的标本开启了可能性。

Figure 4. Identical line profiles extracted from the spectrum images demonstrate that a similar signal-to-noise ratio can be obtained with Ultra-X with only a fraction of the electron dose needed for Super-X. Specimen courtesy of L.F. Kourkoutis, Cornell University.

图 4.从光谱图像中提取的类似谱线轮廓恒明,使用 Ultra-X 获得类似的信噪比只需 Super-X 所需电子剂量的一小部分。标本承蒙康奈尔大学 L.F.Kourkoutis 提供。

Panther STEM 探头系统具有前所未有的灵敏度

采用 Panther STEM 探头系统 Spectra Ultra S/TEM 上的 STEM 成像已经经过重新设计,该系统包括一个新的数据采集架构和两个新的固态八段环形和盘式 STEM 探头(总共 16 段)。新的探头几何结构具有先进的 STEM 成像能力以及测量单个电子的灵敏度。

Scanning image of the 16 segmented ring and disk detectors with an intensity profile (in red) proving the excellent homogeneity of sensitivity across the segments.
证明段间灵敏度均匀性出色的带强度轮廓(红色)16 段环形和盘式探头扫描图像。

整个信号经过优化和调整,以极低剂量提供前所未有的信噪比成像能力,便于对电子束敏感性材料进行成像。此外,完全重新开发的数据采集基础架构可以组合不同的单个探头区段,未来可能以任意方式组合检测器区段,生成新的 STEM 成像方法并揭示传统 STEM 技术中不能够获得的信息。该架构还具有可扩展性,并提供了同步多个 STEM 和谱信号的接口。

High-angle annular dark-field (HAADF) images of SrTiO₃.
用 Panther STEM 探头系统,在 3 pA,1.3 pA 和 <1 pA 探针电流下采集的 SrTiO₃ [001] HAADF 图像对比。即使探头电流 <1 pA,图像中的信噪比也允许像 OptiSTEM + 这样的自动化程序校正聚光镜光学系统中的一阶和二阶像差,从而提供清晰的图像。
Scanning transmission electron microscopy image of a metal organic framework.
金属有机框架 (MOF) UiO 66 的极低剂量成像。将 <0.5 pA 的探针电流与 iDPC 和 Panther STEM 探头系统结合使用,在这种高剂量灵敏度材料中对原子级细节进行成像,空间分辨率达 1.4 Å。图像是一个帧时间为 23.5 秒的单次激发。标本承蒙阿卜杜拉国王科技大学的 Y. Han 教授提供。(Spectra 300 TEM 上获得的数据。)

最高分辨率 STEM 成像性能

Spectra Ultra S/TEM 配备了全新 S-TWIN' (S-TWIN Prime) 极靴。S-TWIN' 基于 S-TWIN 设计。它在 STEM 中提供超高空间分辨率(例如,300 kV 下为 50 pm,60 kV 下为 96 pm),并为需要大倾斜角或笨重原位架的实验提供宽间隙。

S-TWIN' 的不同之处在于,它能够支持极高的立体角 EDX 解决方案(请参阅有关 Ultra-X 的部分)而不影响空间分辨率。S-TWIN' 与增强了机械稳定性的底座以及最新的 S-CORR 探针矫正器相结合,与 Spectra 300 TEM 的合并空间分辨率和合并高探针电流规格匹配。

ds0369-spectra-ultra-s-tem-semiconductor.pdf


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