图像矫正器

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：60 pm

• STEM 分辨率：136 pm

探针矫正器：

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：100 pm

• STEM 分辨率：50 pm（30 kV 下 125 pm）

未校正

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：100 pm

• STEM分辨率：136 pm

X-FEG/单色器双校正（探针+图像矫正器）

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：60 pm

• STEM分辨率：50 pm（30 kV 下 125 pm）

X-CFEG 双校正（探针+图像校正）

• 能量散布：0.4 eV

• 信息限制：70 pm

• STEM分辨率：50 pm（30 kV 下 136 pm）

离子源

• X-FEG Mono：高亮度肖特基场发射枪和单色器，可调谐能量分辨率范围为 1-<0.2 eV

• X-FEG UltiMono：高亮度肖特基场发射枪，配备超稳定单色器和加速电压，可调谐能量分辨率范围为 1eV-<0.03eV

• X-CFEG：固有能量分辨率 <0.4 eV 的超高亮度

• 30 – 300 kV 的灵活高张力范围